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多维测量精密微调平台。先建立了精密微调平台的数学分析模型,在此基础上,通过优化设计得到了平台的优尺寸。利用有限元软件验证了理论建模和优化结果的正确性。制造了原型样机,进行了实验研究,对平台进行了标定,并分析了精密微调平台的定位误差。
精密微调平台操作系统在生物工程、集成电路制造、微细加工、显微手术和光纤对接等领域具有广泛的应用前景 ,精密微调平台已成为前沿科学、工程技术领域的关键技术之一。现有的精密微调平台技术中,常选用滑动导轨或滚动导轨构成的微位移定位机构,由于存在着较大的间隙和机械摩擦,精密微调平台定位精度很难达到很高要求。基于精密微调平台的微位移机构有免装配、无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高和加工简单等优点,近年来精密微调平台得到了广泛的应用。
在一些精密微调平台中,经常需要将物体偏转一个角度,以达到各种需求,如在大规模集成电路的制造中对晶片的定位不仅需要在X和Y两个方向调整,还需要调整绕Z轴的转角误差,甚至更多维的使用。
此多维精密微调平台是先对精密微调平台进行数学建模,得出其刚度、固有频率和强度的计算表达式。在此基础上,通过优化设计得到了精密微调平台的优尺寸。利用有限元软件验证了理论建模和优化结果的正确性。制造了原型样机,进行了实验研究,对精密微调平台进行了标定,并分析了精密微调平台的定位误差。
按照客户需求定制:
单轴(x y z轴的直线平台、旋转平台、弧线移动平台)的平台可组合成二维、三维、四维、五维、六维的多维平台,满足不同方向和不同角度的调整特色:精度高、重复性好、性能可靠稳定、配套功能齐全。
产品可按图设计,
负重8kg,15kg,30kg,40kg.........
YYKJ-DW--8kg
YYKJ-DW--15kg
YYKJ-DW--30kg
YYKJ-DW--40kg
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